Аннотация
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.
Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
Допущено Министерством образования Республики Беларусь в качестве учебного пособия для учащихся учреждений образования, реализующих образовательные программы профессионально-технического образования по специальности «Наладка технологического оборудования радиоэлектронного производства» и среднего специального образования по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Микроэлектроника»
Оглавление
Предисловие | 3 |
Условные обозначения | 4 |
Введение | 6 |
Глава 1. Технологический процесс
изготовления интегральных микросхем | 9 |
Глава 2. Структура технологического
оборудования | 46 |
Глава 3. Оборудование для создания
и контроля чистых сред | 55 |
Глава 4. Виды нагрева изделий
и оборудование для нагрева | 81 |
Глава 5. Вакуумные системы | 105 |
Глава 6. Оборудование для изготовления
пластин | 126 |
Глава 7. Оборудование для химической
обработки | 150 |
Глава 8. Термическое оборудование | 161 |
Глава 9. Оборудование ионно-вакуумной
обработки кремниевых пластин | 203 |
Глава 10. Установки для нанесения
тонких пленок в вакууме | 218 |
Глава 11. Оборудование для совмещения
и экспонирования | 234 |
Глава 12. Оборудование для фотолитографических процессов. Оборудование для обработки пластин, нанесения и проявления фоторезиста | 267 |
Глава 13. Оборудование для механической
обработки пластин с готовыми структурами | 288 |
Глава 14. Оборудование для присоединения
кристаллов | 308 |
Глава 15. Оборудование для присоединения
проволочных выводов к контактным
площадкам кристалла и выводам корпуса | 321 |
Глава 16. Оборудование для герметизации
интегральных микросхем | 344 |
Глава 17. Контрольно-измерительное
оборудование | 353 |
Глава 18. Оборудование для испытаний | 362 |
Глава 19. Оборудование для заключительных
операций | 368 |
Глава 20. Эксплуатация, поддержание
в работоспособном состоянии и ремонт
специального технологического
оборудования | 376 |
Литература | 384 |