Библиографическое описание:
5-04-0713-09 Производство изделий микро- и наноэлектроники: стандарт ССО. – Минск: РИПО, 2022. – 10 с. – Текст: электронный. – URL: https://profbiblioteka.by/viewer/?bookinfo=51436 (дата обращения: 08.06.2023). – Режим доступа: свободный для зарегистрированных пользователей-резидентов РБ.